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Valvole a saracinesca Monovat

Le saracinesche MONOVAT® dotate di guarnizioni in elastomero Perlast®, Kimura® e Nanofluor® garantiscono prestazioni migliori

Le saracinesche MONOVAT® sono largamente usate su piattaforme di attrezzi per semiconduttori . Le saracinesche MONOVAT® che montano gli elastomeri unici di qualità per semiconduttoriPerlast®Kimura® e Nanofluor® PPE garantiscono quantità di particolato ridotte, un rendimento migliore e costi di proprietà ridotti.

Caratteristiche delle saracinesche MONOVAT® dotate di materiali PPE:

  • Disponibili in varie dimensioni e profili per piattaforme diverse di produzione con semiconduttori.
  • Una vasta gamma di profili di tenuta progettati per ridurre le sollecitazioni localizzate, che si traducono in prestazioni di tenuta e durata migliori
  • Livelli di resistenza agli agenti chimici e al plasma più elevati
  • Gli elastomeri ultrapuri minimizzano la quantità di particolato negli ambienti operativi

Il caso di studio G67P Perlast® su MONOVAT® ha triplicato la resa del wafer

Un importante produttore di semiconduttori in Asia riscontrava problemi di contaminazione e scarsa resa del wafer in un processo CVD low-K su un attrezzo Producer® . Le saracinesche dinamiche MONOVAT® erano dotate di un materiale FFKM bianco tradizionale e occorreva sostituire i portelli ogni 15.000 - 30.000 wafer. 

Da quando ha implementato l’utilizzo delle saracinesche MONOVAT® dotate di Perlast® G67P, questo produttore di chip è arrivato a oltre 90.000 wafer, il che rappresenta un notevole risparmio di costi. Questo è il risultato della composizione del materiale ultrapuro, una resistenza chimica superiore e le proprietà meccaniche straordinarie dei materiali Perlast® .

Come possiamo aiutarti?  Contattaci per discutere delle tue esigenze in materia di saracinesche MONOVAT.

MonoVat® è un marchio registrato di VAT Vakuumventile AG.

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