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Perlast G65HP

G65HP

Perlast® è costituito da una formulazione organica unica, appositamente sviluppata per processi di semiconduttori critici in cui le guarnizioni sono a diretto contatto con il plasma. Queste nuove tipologie di materiali forniscono un'eccellente resistenza al plasma, nel plasma di fluoro radicale ad alta concentrazione, così come in altre chimiche dei plasmi.

  • Con una struttura organica al 100%, G65HP Perlast® minimizza il rischio della produzione particellare
  • Meno di 10000 parti per miliardo di contenuto di metallo traccia
  • Eccellente resistenza al plasma di fluoro, cloro e ossigeno
  • Eccellente resistenza chimica generica
  • Rischio molto basso di generazione particellare
  • Buone proprietà meccaniche
  • Proprietà di limitato degassamento

Vantaggi:

  • Cicli di manutenzione più lunghi.
  • Ideali per produttori di dispositivi presso nodi tecnologici avanzati
  • Assicurano l’integrità delle specifiche elettriche dei dispositivi
  • Problemi di affidabilità ridotti al minimo

Perlast G65HP Plasma Graph

Grafico in alto: I risultati delle prove dimostrano costantemente che il G65HP Perlast® è il materiale migliore in termini di resistenza al plasma.


Applicazioni tipiche
Sviluppato per l’uso in varie applicazioni critiche per semiconduttori. Adatto all’uso nella lavorazione di semiconduttori a umido e a secco, compresi:

 Applicazioni tipicheIncisione al plasmaCenere/Striscia resistenzaLPCVD, HDPCVD, PECVD, SACVD, ALDPuliziaPVD
 Tenute dinamicheValvole per saracinesche incollate & Valvole di isolamentoValvole a pendolo   
Tenute staticheO-ring per camereTenute di ingresso gas Tenute passanti per gasGuarnizioni a labbro camera etc. raccordi NW/KF 

Precision Polymer Engineering non è solo un fornitore di materiali di tenuta, ma personalizza soluzioni progettate per applicazioni di tenuta critiche, al fine di massimizzare l’integrità e la longevità della guarnizione, riducendo i costi dei materiali di consumo e aumentando il potenziale di mantenere le vendite aftermarket.

Come possiamo aiutarti? Contattaci per discutere delle tue esigenze in materia di tenuta per semiconduttori.

  • Guarnizioni sanitarie FFKM

    Le guarnizioni sanitarie FFKM sono completamente fluorurate, progettate per vincere specifiche sfide di tenuta nei settori alimentare, lattiero-caseario, farmaceutico, biomedicale e biologico.

    Perlast®, il perfluoroelastomero (FFKM) definitivo è ideale per regimi di pulizia SIP e CIP. Progettate per applicazioni di tenuta, in cui la resistenza chimica e le prestazioni alle alte temperature sono fondamentali, le guarnizioni sanitarie FFKM possono resistere al vapore, alle ammine e ai solventi.

    La speciale reticolazione, riscontrabile in tutte le tipologie della gamma  Perlast® ne assicura la compatibilità praticamente con tutti gli agenti chimici. La struttura molecolare dei perfluoroelastomeri Perlast® è molto simile a quella del PTFE, che fornisce eccellente stabilità termica e resistenza chimica. Ciò permette agli utenti di razionalizzare usando un'unica tipologia di materiale per tutte le applicazioni.

  • Guarnizioni sanitarie metallo-rilevabili

    Detectaseal® è una gamma di composti in elastomero metallo-rilevabili, progettata appositamente per rispondere alle impegnative esigenze del settore farmaceutico e della trasformazione alimentare. Le guarnizioni sanitarie Detectaseal®  sono state testate e collaudate in uso presso i principali impianti di produzione alimentare e farmaceutici. Frammenti di Detectaseal® di soli 2mm possono essere individuati dall’apparecchiatura per il rilevamento dei metalli.

  • Dimensioni delle guarnizioni sanitarie BS 4825

    Guarnizioni sanitarie BS 4825

    Dimensioni nominaliCE/S
    25.4 mm1"22.8 mm50.5 mm
    38.1 mm1 1/2"35.5 mm50.5 mm
    50.8 mm2"48.2 mm64 mm
    63.5 mm2 1/4"60.5 mm77.5 mm
    76.2 mm3"73.2 mm91 mm
    101.6 mm4"97.8 mm119 mm
    114.3 mm4 1/2"110.5 mm130 mm
    139.7 mm5 1/2"135.9 mm155 mm
    168.3 mm6 5/8"163.3 mm183 mm
    219.1 mm8 5/8"214.1 mm233.5 mm
  • Dimensioni delle guarnizioni sanitarie DIN 32676

    Guarnizioni sanitarie DIN 32676

    Dimensioni nominaliCE/S
    10 mm10.2 mm34 mm
    15 mm16.2 mm34 mm
    20 mm20.2 mm34 mm
    25 mm26.2 mm50.5 mm
    32 mm32.2 mm50.5 mm
    40 mm38.2 mm50.5 mm
    50 mm50.2 mm64 mm
    65 mm66.2 mm91 mm
    80 mm81.2 mm106 mm
    100 mm100.2 mm119 mm
    125 mm125.2 mm155 mm
    150 mm150.2 mm183 mm
    200 mm200.2 mm233.5 mm
  • Dimensioni delle guarnizioni sanitarie ISO 2852

    Guarnizioni sanitarie ISO 2852

    Dimensioni nominaliCS
    12 mm10.2 mm34 mm
    12.7 mm10.9 mm34 mm
    17.2 mm15.4 mm34 mm
    21.3 mm19.5 mm34 mm
    25 mm22.8 mm50.5 mm
    33.7 mm31.5 mm50.5 mm
    38 mm35.8 mm50.5 mm
    40 mm37.8 mm64 mm
    51 mm48.8 mm64 mm
    63.5 mm60.5 mm77.5 mm
    70 mm67 mm91 mm
    76.1 mm73.1 mm91 mm
    88.9 mm85.1 mm106 mm
    101.6 mm97.8 mm119 mm
    114.3 mm110.5 mm130 mm
    139.7 mm135.9 mm155 mm
    168.3 mm163.3 mm183 mm
    219.1 mm214.1 mm233.5 mm

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