Questa settimana, Precision Polymer Engineering (PPE), uno dei produttori leader mondiali di o-ring e guarnizioni in elastomero stampate ad alte prestazioni, lancerà due nuove tipologie di materiali al SEMICON West 2017.
I nuovi materiali, Perlast® G65HP e Perlast® G67G, sono perfluoroelastomeri (FFKM) formulati per garantire bassi tassi di erosione al plasma e una maggiore vita utile della guarnizione, con una minima produzione di particelle. In seguito a prove complete eseguite utilizzando diverse chimiche dei plasmi e diverse sorgenti di plasma, i risultati mostrano un funzionamento migliore dei nuovi materiali rispetto a quello dei loro concorrenti diretti, con una riduzione dei tassi di erosione del 30%, in alcuni casi.
Entrambi i materiali vantano un basso contenuto di metalli traccia, il che riduce il rischio di una resa inferiore e di rotture in garanzia. Inoltre, la qualità Perlast® G67G incorpora bassi livelli di filler avanzati a base di nanoparticelle, il che significa che l’agglomerazione di particelle o una contaminazione importante con le stesse sono molto meno probabili.
PPE ha sviluppato nuovi materiali ad alta purezza per soddisfare le esigenze delle applicazioni critiche, in cui le guarnizioni si trovano a diretto contatto con la chimica di processo. Si prevede che permetteranno una vita utile più lunga, compatibile con i cicli di manutenzione esistenti, con un potenziale aumento del tempo di funzionamento della strumentazione di processo e una riduzione conseguente dei costi generali dei materiali di consumo.
G65HP Perlast® è costituito da una formulazione organica unica, appositamente sviluppata per le lavorazioni di semiconduttori critiche, in cui le guarnizioni sono a diretto contatto con il plasma. Questa nuova qualità di materiale fornisce un’eccellente resistenza al plasma per plasmi fluorurati radicali ad alta concentrazione, così come per altre chimiche dei plasmi. Con una struttura organica al 100%, Perlast® G65HP riduce al minimo il rischio di produzione di particelle, favorendo cicli di manutenzione più lunghi. Inoltre, con meno di 10k parti per miliardo di metalli traccia, questo materiale è ideale per produttori di dispositivi in nodi tecnologici avanzati, e per quei produttori che desiderano garantire l’integrità delle specifiche elettriche del dispositivo e avere problemi di affidabilità ridotti al minimo.
Perlast® G67G è stato formulato per fornire un’eccellente resistenza all’aggressività dei plasmi a base di ossigeno, cloro e fluoro. Insieme alle straordinarie proprietà di resistenza meccanica e termica e alla ridotta produzione di particelle, Perlast® G67G è ideale per i processi di aggressione chimica a umido o a secco, per lo stripping, la pulizia e PVD.
La produzione di semiconduttori crea alcuni degli ambienti più aggressivi, in cui le guarnizioni vengano a trovarsi e i fabbricanti di apparecchiature originali si impegnano costantemente e consapevolmente per mettere a disposizione materiali di tenuta più avanzati. Con G65HP e G67G, PPE ha sviluppato due materiali elastomerici di tenuta con nanofiller, resistenti al plasma, ciascuno dei quali fornisce una soluzione di tenuta unica ottimizzata in base al processo, per applicazioni per semiconduttori. I materiali sono stati ampiamente testati e messi a confronto con i materiali leader del mercato, in diverse chimiche dei plasmi di uso comune. I risultati dimostrano che i nuovi materiali garantiscono prestazioni superiori.
Commentando il lancio dei nuovi materiali, il dott. Murat Gulcur, Product Manager per i semiconduttori presso PPE, ha dichiarato: “PPE si impegna a sviluppare qualità di materiali peri semiconduttori ancora più resilienti, per aiutare i nostri clienti a risolvere i problemi di tenuta principalmente legati alla miniaturizzazione del mercato dei chip in tutta una serie di applicazioni critiche. Le chimiche aggressive dei plasmi hanno sempre rappresentato un problema importante per i nostri clienti e, con prove accurate e con il successivo lancio di Perlast® G65HP e Perlast® G67G, oltre a notevoli risparmi sui costi, crediamo di poter offrire ai nostri clienti le migliori prestazioni del mercato rispetto a tutte le altre tecnologie di tenuta in elastomero nelle stesse condizioni- oltre a risparmi significativi.”
PPE esporrà al SEMICON West 2017, San Francisco, dall’11 al 13 luglio. Vieni a conoscere il team allo stand #6668 per vedere la nostra gamma completa di materiali di tenuta e per discutere come la collaborazione con PPE possa fornire un vantaggio competitivo.
Per ulteriori informazioni relative alle capacità di PPE in termini di semiconduttori, parla con un membro del team vendite via telefono al numero +44 (0)1254 295400, visita il loro sito web all’indirizzo it.prepol.com o invia un’e-mail all’indirizzo [email protected]
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