Processi al plasma

I processi al plasma sono tra i più aggressivi per le guarnizioni in elastomero, in particolare quelli in posizioni critiche esposte agli agenti chimici e in prossimità del wafer o del substrato. I processi al plasma più aggressivi per le guarnizioni includono i plasmi a base di radicali e i prodotti per la spogliatura (resist strip) a base di ossigeno, così come i detergenti NF₃ per l’incisione e per camere che usano sorgenti di plasma remote (RPS).

Tutte le guarnizioni, in particolare quelle in posizioni critiche, si degraderanno nel tempo. Nessun materiale di tenuta di per sé è ottimizzato per tutti gli agenti chimici o è applicabile a ogni posizione di strumento e tipo di prodotto. La scelta appropriata di prodotti raccomandati PPE condurrà a:-

• Raccomandazioni ottimizzate dal punto di vista dei costi in base all’applicazione
• Ridotti tassi di erosione
• Bassi livelli di metalli traccia, ove fondamentali
• Ridotti tassi di rilascio di particelle, ove fondamentali
• Impatto ridotto al minimo sulla resa del dispositivo e sulla resa elettrica
• Costo dei materiali di consumo ridotto (CoC)

La tabella qui di seguito indica i tipi di materiali in elastomero compatibili e raccomandati. Le qualità principali sono studiate per posizioni critiche in impianti / strumenti.

Sono stati eseguiti molteplici test di resistenza al plasma su oltre 20 materiali in elastomero disponibili sul mercato, comprendendo quelli dei fornitori leader.  Scopri come si è comportato ogni materiale in termini di tasso di erosione in quattro chimiche base al plasma rispetto alle qualità PPE equivalenti.

Per ulteriori indicazioni sulla scelta della guarnizione appropriata trova il tuo referente di vendita più vicino.