+44 (0)1254 295400

Processi termici

Le applicazioni a base termica necessitano di materiali di tenuta, che abbiano buone proprietà meccaniche, come un ridotto cedimento permanente o rilassamento dopo una sollecitazione da compressione, in aggiunta a requisiti di resistenza chimica molto specifici. Processi come ALD, LPCVD, SACVD, ricottura e ossidazione, richiedono materiali di tenuta capaci di resistere alle alte temperature per un tempo prolungato. Questi processi spesso includono l’uso di ossigeno, ozono o una combinazione di ozono e radiazioni UV ad alta energia, come quelle applicate all’ingegneria dei transistor, all’FCVD e alla lavorazione con tecnologia low-k.

La scelta appropriata di prodotti raccomandati PPE condurrà a:

  • Raccomandazioni con ottimizzazione dei costi in base all’applicazione
  • Bassa resistenza al cedimento permanente
  • Vita utile più lunga in regimi di indurimento ai raggi UV aggressivi
  • Ridotti tassi di erosione
  • Bassi livelli di metalli traccia, ove fondamentali
  • Ridotti tassi di rilascio di particelle, ove fondamentali
  • Impatto ridotto al minimo sulla resa del dispositivo e sulla resa elettrica
  • Costo dei materiali di consumo ridotto (CoC)

La tabella di seguito indica le tipologie dei materiali in elastomero compatibili e raccomandati da PPE.  Le tipologie primarie sono studiate per l’applicazione in posizioni critiche in impianti e attrezzature.  Per ulteriori indicazioni sulla scelta della tenuta appropriata trova il contatto di vendita a te più vicino.

Processo/ApplicazioneGamma
di temperature
Mezzi di lavorazioneMateriali
primari
Materiali
compatibili
Commenti
CVD (deposizione chimica da vapore) metallo
ALD
LPCVD
25 - 200°C
(77 - 482°F)
Precursori organici, WF6, TiCl4, SiH4, SiHCl3, SiH2Cl2, SiCl4, Ar, N2, H2, NH3, HF, HCl, F2, Cl2, CIF3, NF3,vapore H2O, O2, O3 G75B, G75H, K2CDG67G, G76W, K13X, V75PG75B raccomandati per le applicazioni a temperatura di tenuta più elevata.


SACVD25 - 200°C
(77 - 482°F)
TEP, TEBO, TEOS, O3, O2, N2, NF3G75B, G75H, G65HP G67G, G70H, G76W
Diffusione ossidazione100 - 300°C
(212 - 572°F)
N2, O2, H2O, POCl3, BBr3, PH3, B2H6, HCl, Cl2G75B, G75H, K2CDG65HP, G70H, G76W, V75P
RTP e
Ossidazione termica
100 - 300°C
(212 - 572°F)
radiazione IR, O2, vaporeG75B, K13X, G75HG76G, G67P, G74P, G75M
indurimento a raggi UV100 - 300°C
(212 - 572°F)
N2, Ar, O2, O3G67G, G70HY75G, G76W, G75HG67G raccomandato per tutte le posizioni critiche


Iscriviti alla nostra mailing list per ricevere la eNewsletter PPE trimestrale ed essere il primo a conoscere le ultime novità
Grazie per esserti iscritto alla mailing list della nostra eNewsletter.

We'll need some basic details first

Please provide a valid email address to access the datasheet

*Non preoccuparti, non ti invieremo spam e potrai annullare l'iscrizione in qualsiasi momento