Nella produzione di semiconduttori, la contaminazione particellare lungo l’intero processo è una minaccia grave per la resa e pertanto per la redditività. Non solo il numero di particelle, ma anche la loro dimensione può rappresentare un fattore critico.
Le tecnologie di produzione fondamentali includono processi sotto vuoto, come incisione e deposizione a secco, i quali richiedono tenute in elastomero in grado di mantenere l'integrità del vuoto. Le tenute utilizzate in ambienti critici ( a diretto contatto con il processo o in relativa prossimità al sostrato elaborato) sono spesso esposte a temperature e reazioni chimiche aggressive. Le tenute devono essere compatibili con il periodo di manutenzione dello strumento e non essere il fattore limitante che ne determina l'intervento meccanico o tempi di inattività. Inoltre, le tenute non devono contribuire alla perdita di rendimento causata dalla formazione di sottoprodotti dell'erosione.
La scelta dei materiali di tenuta disponibili agli utenti finali non è facile: senza disporre di camere di prova o attrezzature di produzione all'avanguardia dedicate a testare una moltitudine di materiali di tenuta nelle varie applicazioni, la scelta diventa potenzialmente rischiosa, comportando l'apporto di modifiche e l'utilizzo del prodotto vivo con una nuova tenuta. Pertanto, lo sforzo deve essere premiato da un risparmio che sia commisurato al rischio o alla risorsa richiesta per eseguire un test del genere.
Per ridurre al minimo il rischio di una scelta errata delle tenute, che potrebbe, potenzialmente, portare al danneggiamento del prodotto o delle risorse di valutazione, è stato condotto uno studio completo che confronta i materiali di tenuta dei principali fornitori di o-ring in elastomero. La creazione e il mantenimento di questo database compensa ampiamente il rischio associato alla modifica di un materiale di tenuta, riduce il costo dei materiali di consumo e aumenta la redditività o la competitività.
Apprendi il comportamento dei materiali di tenuta in elastomero in diverse condizioni di plasma e gas.
Scopri l'importanza di diversi tipi di filler e di dispersione di particelle di filler nei materiali elastomerici.
Scopri le soluzioni atte a ridurre al minimo la produzione di particolati e la contaminazione causata dalle guarnizioni elastomeriche..
Comprendi il rapporto prezzo-prestazioni tra perfluoroelastomeri (FFKM) e fluoroelastomeri (FKM).